XYθ对位平台,又称XYR、UVW 对位平台,属于三轴并联运动机构。通过3 个线性移动轴的并联运动实现XY 两轴线性运动和θz 轴旋转运动。配合卓立汉光TMC-XYR 专用运动控制器内嵌的运动算法和软件,可以实现单轴直线运动、两轴线性插补、两轴圆弧插补、任意圆心旋转等复杂运动。XYR 对位平台是高精度视觉对位系统中机械执行部分,主要应用在曝光机、邦定机、光罩印刷机、WAFER 对位、零件安装、PCB 钻孔机、LCD 点灯特性检查、切割机、贴片机(LCD/FPC)、网版印刷机等场合。
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结构紧凑,在小体积内实现多轴平移或角度调整,且多轴正交精度高
· 导轨采用精密线性滚珠配合精磨钢棒导轨,精度高
· 采用高品质交叉滚柱导轨,满足高直线度应用需求
· 微分头驱动,拉簧复位,定量读数,消除空回
产品型号 | 电动整体XYθ位移台XYR100-R | ||||
结构描述 | 台面尺寸 | Φ59 | 精度描述 | X、Y轴分辨率 | 0.0125mm |
X、Y轴行程 | 15 | R轴分辨率 | 0.0085° | ||
R轴行程 | ±8.5° | X、Y轴最大速度(全步级) | 25mm/sec | ||
滚珠丝杆直径 | Φ8 | R轴最大速度(全步级) | 20°/sec | ||
丝杆导程 | 2.5 | X、Y轴重复定位精度(理论) | 2μ | ||
导轨 | 交叉滚珠导轨 | R轴重复定位精度(理论) | 0.01° | ||
步进电机(1.8º) | 28BYG | 直线度 | 0.015mm | ||
主体材料 | 铝合金-阳极氧化发黑 | 平行度 | 0.02mm | ||
中心承载 | 6KG | 台面平整度 | 0.02mm | ||
自 重 | 2.5KG |
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